Flash Lamp Annealing

From Basics to Applications
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Paru le : 2019-07-27

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reade...
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À propos

Pages
288 pages

EAN papier
9783030232986


Caractéristiques détaillées - droits

EAN PDF
9783030232993
Prix
127,19 €
Nombre pages copiables
2
Nombre pages imprimables
28
Taille du fichier
13353 Ko
EAN EPUB
9783030232993
Prix
127,19 €
Nombre pages copiables
2
Nombre pages imprimables
28
Taille du fichier
41585 Ko

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