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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

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Éditeur :

Springer

Collection : NanoScience and Technology

Paru le : 2018-03-21

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-asse...
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Description du livre


This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.

À propos

Auteur
Seongbo Shim , Youngsoo Shin
Éditeur
Springer
Collection
NanoScience and Technology
Parution
2018-03-21
Pages
138 pages
EAN papier
9783319762937

Auteur(s) du livre


Defaut-Illustration Seongbo Shim
Defaut-Illustration Youngsoo Shin

Caractéristiques détaillées - droits

EAN PDF
9783319762944
Prix
95,39 €
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
13
Taille du fichier
12657 Ko
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EAN EPUB
9783319762944
Prix
95,39 €
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
13
Taille du fichier
3441 Ko
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